| 名 称 | 一种双空腔压力计芯片及其制造工艺 |
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| 科技资源标识 | 
CSTR:11738.16.NCDC.XDA14.PT4622.2024
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数据共享方式 | 开放下载 |
| 摘 要 | 一种双空腔压力计芯片及其制造工艺 |
| 学科分类 | |
| 关键词 |
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| 作者 | 林德泉,周显良,王文 |
| 数据量 | 6.1 MiB |
| 专利类型： | invention_patent |
| 登记号： | 202110613730.9 |
| 授权时间： | 2021-06-02 |
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