| 名 称 | 一种MEMS加速度计及其制造工艺 |
|---|---|
| 科技资源标识 | 
CSTR:11738.16.NCDC.XDA14.PT4733.2024
|
数据共享方式 | 开放下载 |
| 摘 要 | 一种MEMS加速度计及其制造工艺 |
| 学科分类 | |
| 关键词 |
|
| 作者 | 胡宗达,李航,于连忠,杨燕 |
| 数据量 | 1.5 MiB |
| 专利类型： | invention_patent |
| 登记号： | 201710140855.8 |
| 授权时间： | 2017-03-10 |
本作品采用
知识共享署名
4.0 国际许可协议进行许可。
