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一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺
发布时间：
2024-01-08
元数据
名 称
一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺
科技资源标识
CSTR:11738.16.NCDC.XDA14.PT4742.2024
数据共享方式
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摘 要
一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺
学科分类
170.20
关键词
作者
李航,于连忠,仇旭萍
数据量
809.0 KiB
专利类型：
invention_patent
登记号：
201710423163.4
授权时间：
2017-06-07
引用和标注
数据引用
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GBT7714
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中
RIS
中
李航,于连忠,仇旭萍. 一种转换测量方向的MEMS加速度计及其制造工艺. 国家冰川冻土沙漠科学数据中心(http://www.ncdc.ac.cn), 2024. https://cstr.cn/CSTR:11738.16.NCDC.XDA14.PT4742.2024.
许可协议
本作品采用
知识共享署名 4.0 国际许可协议
进行许可。
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项目信息
详情
项目名称：
超深层导向钻井关键技术
项目编号：
XDA14040000
项目类别：
中国科学院战略性先导科技专项（A类）
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CSTR:11738.16.NCDC.XDA14.PT4742.2024