国家冰川冻土沙漠科学数据中心

元数据

名称	METHOD OF MAKING A DUAL-CAVITY PRESSURE SENSOR DIE（双空腔压力传感器芯片及其制造工艺）
科技资源标识	CSTR:11738.16.NCDC.XDA14.PT4602.2024
数据共享方式	开放下载
摘要	METHOD OF MAKING A DUAL-CAVITY PRESSURE SENSOR DIE（双空腔压力传感器芯片及其制造工艺）
学科分类	170.20
关键词
作者	周显良,张轶铭,曾凡,王文,周显良
数据量	2.2 MiB
专利类型：	invention_patent
登记号：	17/023,734
授权时间：	2020-09-17

引用和标注

数据引用

周显良,张轶铭,曾凡,王文,周显良. METHOD OF MAKING A DUAL-CAVITY PRESSURE SENSOR DIE（双空腔压力传感器芯片及其制造工艺）. 国家冰川冻土沙漠科学数据中心(http://www.ncdc.ac.cn), 2024. https://cstr.cn/CSTR:11738.16.NCDC.XDA14.PT4602.2024.

许可协议

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项目信息详情

项目名称：超深层导向钻井关键技术
项目编号：XDA14040000
项目类别：中国科学院战略性先导科技专项（A类）