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元数据
名   称 MEMS PRESSURE GAUGE SENSOR AND MANUFACTURING METHOD(基于应变计原理的MEMS压力传感器及制造方法)
科技资源标识 CSTR:11738.16.NCDC.XDA14.PT4940.2024
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摘   要 MEMS PRESSURE GAUGE SENSOR AND MANUFACTURING METHOD(基于应变计原理的MEMS压力传感器及制造方法)
学科分类
关键词
作者 周显良,王文
数据量 1.6 MiB
专利类型: invention_patent
登记号: 15/753,131
授权时间: 2018-02-15
引用和标注
数据引用
周显良,王文. MEMS PRESSURE GAUGE SENSOR AND MANUFACTURING METHOD(基于应变计原理的MEMS压力传感器及制造方法). 国家冰川冻土沙漠科学数据中心(http://www.ncdc.ac.cn), 2024. https://cstr.cn/CSTR:11738.16.NCDC.XDA14.PT4940.2024.
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